常见的硅晶圆生产流程

导读： 众所周知，半导体作为最重要的产业之一，每年为全球贡献近五千亿美金的产值，可以毫不夸张的说，半导体技术无处不在。

众所周知，半导体作为最重要的产业之一，每年为全球贡献近五千亿美金的产值，可以毫不夸张的说，半导体技术无处不在。俗话说：巧妇难为无米之炊，硅晶圆作为制造半导体器件和芯片的基本材料，在产业中扮演着举足轻重的地位，硅是当今最重要、应用最广泛的半导体材料。

硅是非常常见的物质，如沙子里面就有二氧化硅，但沙子到硅晶体这可是个非常复杂的过程，如沙子要经过提纯、高温整形再到旋转拉伸……单晶硅是晶圆最初始的状态，在实际应用中仍不行，还需要制造成晶圆，而且是要求很高的圆圆晶体。在实际的生产中，我们通常将二氧化硅还原成单晶硅，但是这个过程难度很高，因为实际用到的晶圆纯度很高，要达到99.999%以上，常用的晶圆生产过程包括硅的纯化、纯硅制成硅晶棒、制造成电路的石英半导体材料、照相制版、硅材料研磨和抛光、多晶硅融解然后拉出单晶硅晶棒再到最后切割成一片薄薄的晶圆。

常见的硅晶圆生产流程

硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式广泛存在于岩石、砂砾中，硅晶圆的制造有三大步骤：硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。

一、 硅提炼及提纯

硅的提纯是第一道工序，需将沙石原料放入一个温度超过两千摄氏度的并有碳源的电弧熔炉中，在高温下发生还原反应得到冶金级硅，然后将粉碎的冶金级硅与气态的氯化氢反应，生成液态的硅烷，然后通过蒸馏和化学还原工艺，得到了高纯度的多晶硅。

二、 单晶硅生长

（用直拉法制造晶圆的流程图，OFweek电子工程网制作）

晶圆企业常用的是直拉法，如上图所示，高纯度的多晶硅放在石英坩埚中，并用外面围绕着的石墨加热器不断加热，温度维持在大约一千多摄氏度，炉中的空气通常是惰性气体，使多晶硅熔化，同时又不会产生不需要的化学反应。

为了形成单晶硅，还需要控制晶体的方向，坩埚带着多晶硅熔化物在旋转，把一颗籽晶浸入其中，并且由拉制棒带着籽晶作反方向旋转，同时慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。

熔化的多晶硅会粘在籽晶的底端，按籽晶晶格排列的方向不断地生长上去。用直拉法生长后，单晶棒将按适当的尺寸进行切割，然后进行研磨，再用化学机械抛光工艺使其至少一面光滑如镜，这时候晶圆片就制造完成了。

晶圆制造厂把这些多晶硅融解，再在融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成。

三、晶圆成型

完成了上述两道工艺， 硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为集成电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。

在现实中，经常会听到人们讲几寸晶圆厂，它是说生产单片晶圆的尺寸。一般情况下，硅晶圆直径越大，代表晶圆厂技术实力越强，如中芯国际以12寸晶圆为主，台积电的8寸晶圆等。为了将电晶体与导线尺寸缩小，可以将几片晶圆制作在同一片晶圆上，制作出更多的硅晶粒，但是硅晶圆生产最关键的参数就是良品率，这是晶圆厂的核心技术参数，它与硅晶圆生产设备的质量密不可分。

制造一颗硅晶圆需要的半导体设备

制作一颗硅晶圆需要的半导体设备大致有十个，它们分别是单晶炉、气相外延炉、氧化炉、磁控溅射台、化学机械抛光机、光刻机、离子注入机、引线键合机、晶圆划片机、晶圆减薄机，其实光刻机只是九牛一毛。

1、单晶炉

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶硅的设备。在实际生产单晶硅过程中，它扮演着控制硅晶体的温度和质量的关键作用。

由于单晶直径在生长过程中可受到温度、提拉速度与转速、坩埚跟踪速度、保护气体流速等因素影响，其中生产的温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知，单晶炉主要控制的方面包括晶体直径、硅功率控制、泄漏率和氩气质量等。

2、气相外延炉

气相外延炉主要是为硅的气相外延生长提供特定的工艺环境，实现在单晶上生长与单晶晶相具有对应关系的薄层晶体。外延生长是指在单晶衬底（基片）上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层，犹如原来的晶体向外延伸了一段，为了制造高频大功率器件，需要减小集电极串联电阻，又要求材料能耐高压和大电流，因此需要在低阻值衬底上生长一层薄的高阻外延层。

气相外延炉能够为单晶沉底实现功能化做基础准备，气相外延即化学气相沉积的一种特殊工艺，其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续，而且与衬底的晶向保持对应的关系。

3、氧化炉

硅与含有氧化物质的气体，例如水汽和氧气在高温下进行化学反应，而在硅片表面产生一层致密的二氧化硅薄膜，这是硅平面技术中一项重要的工艺。氧化炉的主要功能是为硅等半导体材料进行氧化处理，提供要求的氧化氛围，实现半导体预期设计的氧化处理过程，是半导体加工过程的不可缺少的一个环节。

4、磁控溅射台

磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备半导体等材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。在硅晶圆生产过程中，通过二极溅射中一个平行于靶表面的封闭磁场，和靶表面上形成的正交电磁场，把二次电子束缚在靶表面特定区域，实现高离子密度和高能量的电离，把靶原子或分子高速率溅射沉积在基片上形成薄膜。

5、化学机械抛光机

一种进行化学机械研磨的机器，在硅晶圆制造中，随着制程技术的升级、导线与栅极尺寸的缩小，光刻技术对晶圆表面的平坦程度的要求越来越高，IBM公司于1985年发展CMOS产品引入，并在1990年成功应用于64MB的DRAM生产中，1995年以后，CMP技术得到了快速发展，大量应用于半导体产业。

化学机械研磨亦称为化学机械抛光，其原理是化学腐蚀作用和机械去除作用相结合的加工技术，是目前机械加工中唯一可以实现表面全局平坦化的技术。在实际制造中，它主要的作用是通过机械研磨和化学液体溶解“腐蚀”的综合作用，对被研磨体（半导体）进行研磨抛光。

6、光刻机

又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

7、离子注入机

它是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等  。

在进行硅生产工艺里面，需要用到离子注入机对半导体表面附近区域进行掺杂，离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型，离子注入与常规热掺杂工艺相比可对注入剂量角度和深度等方面进行精确的控制，克服了常规工艺的限制，降低了成本和功耗。

8、引线键合机

它的主要作用是把半导体芯片上的Pad与管脚上的Pad，用导电金属线（金丝）链接起来。引线键合是一种使用细金属线，利用热、压力、超声波能量为使金属引线与基板焊盘紧密焊合，实现芯片与基板间的电气互连和芯片间的信息互通。在理想控制条件下，引线和基板间会发生电子共享或原子的相互扩散，从而使两种金属间实现原子量级上的键合。

9、晶圆划片机

因为在制造硅晶圆的时候，往往是一整大片的晶圆，需要对它进行划片和处理，这时候晶圆划片机的价值就体现出了。之所以晶圆需要变换尺寸，是为了制作更复杂的集成电路。

10、晶圆减薄机

在硅晶圆制造中，对晶片的尺寸精度、几何精度、表面洁净度以及表面微晶格结构提出很高要求，因此在几百道工艺流程中，不可采用较薄的晶片，只能采用一定厚度的晶片在工艺过程中传递、流片。晶圆减薄，是在制作集成电路中的晶圆体减小尺寸，为了制作更复杂的集成电路。在集成电路封装前，需要对晶片背面多余的基体材料去除一定的厚度，这一工艺需要的装备就是晶片减薄机。

当然了，在实际的生产过程中，硅晶圆制造需要的设备远远不止这些，制造硅晶圆的难度不亚于航空母舰。之所以光刻机的关注度超越了其它半导体设备，这是由于它的技术难度是最高的，目前仅有荷兰和美国等少数国家拥有核心技术。近年来，国内的企业不断取得突破，在光刻机技术上也取得了不错的成绩，前不久，国产首台超分辨光刻机被研制出来，一时间振奋了国人，随着中国自主研发的技术不断取得进步，未来中国自己生产的晶圆也将不断问世。

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中國芯片差在哪

 在半導體這個領域，中國需要挑戰的是，西方上百年積累起來的工業體系。 中國半導體一直是在冒著敵人的炮火匍匐前進，如今，敵人的炮火越來越凶猛。圍追堵截中，誰讓我“芯”痛？ 

美國的驚人統治力 

1957年，晶體管之父肖克利的八個門徒，在矽谷創立仙童半導體公司，并開发出人類历史上第一塊集成電路，矽谷因此成為全世界半導體技術的发源地，一直延續至今。

期間，尽管发生過几次產業轉移，七八十年代，半導體制造大量轉移至日本；九十年代后，轉移至韓國和中國台灣。但美國至今依舊保留著在諸多核心領域的統治力。 

以生產設備為例，全球三大巨頭應用材料、泛林和ASML，美國獨占前兩席，而且應用材料在除光刻機以外的几乎所有領域都領先，包括蝕刻、薄膜沉積等。 

更恐怖的是，全球三大EDA軟件（用于芯片設計）巨頭鏗騰、明導和新思，均為美國企業，全世界几乎所有芯片設計和制造企業都離不開它們。 

高端芯片方面，中興事件暴露出來的眾多短板，包括ADC/DAC（數模轉換）、FPGA、高速光通信接口等芯片，目前也都依賴美國厂商，包括德州儀器、賽靈思、亞德諾等。 美國的驚人統治力還體現在生態系統上。 

目前，三种主流的芯片架構X86、MIPS和ARM，前兩种都是美國血統。其中，英特爾的X86架構，與微軟的Windows系統結盟，稱霸台式機市場。ARM架構雖然是英國血統，卻離不開安卓和iOS系統的支持，兩者合計占有全球95%以上的手機市場。 而且，ARM其實誕生于蘋果的一款失敗產品。 

如今，在全球20大半導體公司中，美國依舊獨占八席，處于絕對的霸主地位，并且基本都是卡住核心的关鍵性公司。 

中國VS整個產業鏈 

半導體是一個龐大的產業，從大類上講，包括集成電路（IC）、光電子、分離器和傳感器等，其中IC的規模占80%以上。 所謂芯片，就是內含集成電路的矽片，它分為几十個大類，上千個小類。制造一塊小小的芯片，涉及50多個學科、數千道工序，包括設計、制造和封裝三大環節。 在這個產業鏈上，國內企業的差距是全方位的。 

首先看設計，華為海思和紫光展銳分列國內前兩名。

目前，兩家公司在不少領域已是世界領先水平，但一個巨大的問題是，其架構授權的核心都被外人掌握。 

目前，國內僅有中科院的龍芯和總參謀部的申威擁有自主架構，前者用于北斗導航，后者用于神威超級計算機，民用領域基本是空白。 

設備和材料是又一大短板。制造芯片的三大設備光刻機、蝕刻機和薄膜沉積，國內僅中微半導體的介質蝕刻機能跟上行業節奏，其7納米設備已入圍台積電名單。 此外，北方華創在氧化爐和薄膜沉積設備上成績不俗，但基本還處于28納米級别。其他設備，如離子注入機、拋光機和清洗機，也差不多。 

差距最大的是光刻機。光刻機用于將設計好的電路圖曝光在矽片上，蝕刻機則負責微觀雕刻，刻出溝槽或接觸孔。目前ASML最先進的EUV光刻機，即將投入三星、台積電的7納米工藝，而國內上海微電子的光刻機，仍停留在90納米量產的水平。 

材料方面，日本是全球領先者。 在制造芯片的19种主要材料中，日本有14种位居全球第一，總份額超過60%。全球近七成的矽晶圓產自日本，那是芯片制造的根基。 反觀中國，矽晶圓几乎是空白，8英寸國產率不足10%，12英寸依賴進口，打破壟斷的希望還在張汝京創辦的新昇半導體，今年即將量產。他也是中芯國際的創始人。 除了矽晶圓，國內企業還在濺射靶材、研磨液等材料上有所突破，并實現了國產化。前者用于制作金屬導线，后者用于芯片研磨拋光。

 以上均為單點突破，距離整個行業的崛起還比較遠。 芯片制造，國內最先進的是中芯國際和廈門聯芯，目前能做到28納米量產。而它們的競爭對手，三星、台積電等巨頭即將在今年量產7納米，相差兩三代。 最后是封測。這是目前大陸最接近國際水平的領域，長電科技收購新加坡星科金朋后，躋身全球第三。

但全球封測中心在中國台灣，以日月光為首的台灣企業，擁有50%以上的市場份額。 在這樣一個超長的產業鏈中，全球通力合作必不可少。以光刻機為例，荷蘭ASML一騎絕塵，但它的成功得益于各國的鼎力合作，鏡頭來自德國蔡司、光源來自美國，這几乎是西方近百年工業的技術結晶。 

但中國在這個產業鏈上處于不利地位，經常面對不友好的產業環境。這次的中興事件只不過是浮上台面的斗爭與封鎖，而台面下的爭斗几十年來則是一直沒有消停。 

巨頭封鎖與追殺 

芯片制造是人類历史上最复雜的工藝，加工精度為頭发絲的几千分之一，需要上千個步驟才能完成。其難度，堪比兩彈一星。 

如此复雜的工藝，需要巨額的投資。例如，建一個芯片工厂，就動輒需要上百億美元。這樣的投資規模，只有跨國巨頭乃至國家才能完成。 這讓巨頭企業在產業中更具優勢，也直接導致了行業的不斷集中。 過去40年，半導體行業呈現加速壟斷趨勢。

1995年，全球七大半導體企業投資占比24%，如今這個數字已飆升至80%以上。40年前，全球有几十家主要的設備制造商，如今只剩下三四家。 不僅如此，巨頭們不但自身可以使出很多种手段懲戒后來者，甚至還組建產業聯盟扼殺后來者。 手段之一是低價傾銷。這里面都是套路：一開始你沒有，它通過壟斷積累暴利；等你做出來，它馬上降價傾銷，讓你越做越虧，暗無天日，最終斷了產業化的念想。 当年液晶大戰的慘痛就這樣。

三星、夏普等液晶巨頭，一開始不願在華建厂，而等深圳市政府組織國內彩電巨頭，以及京東方要展開反攻時，他們卻又主動跳出來求合作。結果導致長虹動搖并撤出，京東方則被晾在一邊，國產計划泡湯。 享受這一“待遇”的，還有MOCVD設備商。MOCVD是制造LED芯片的設備，在國產化之前，美、德兩家巨頭憑借壟斷，每台設備賣2,000万（1元人民幣約合0.1439美元）。

而等國內厂商開始介入時，售價立刻暴跌至600万。結果，數十個國內玩家，如今只剩下中微、中晟光電等少數几家。 去年，高通在華推出重磅計划，與大唐電信旗下的聯芯科技成立領盛科技，聯手進軍中低端芯片市場。关心國內芯片產業的很多人士都一致認為，這是高通要“借刀殺人”，要以領盛科技用價格戰的方式絞殺正在向中高端芯片市場進軍的紫光展訊。而5月4日的消息顯示，這家合資企業已正式获批。 手段之二是发動專利戰，拖住對手，打擊下游客戶信心。 

2000年，張汝京出走台灣，在上海創建中芯國際。之后，他從台積電四處挖人，使得中芯短時間內迅速崛起。但厄運隨之而來，老冤家張忠謀很快就发起了專利戰。這場持續近七年的戰爭，最終的結果是中芯割地賠款，張汝京黯然出局。 台積電通過此舉，成功拖住了中芯。而当初引進張汝京的江上舟，也在兩年后辭世，死前一直惦記著中芯的未來。 同樣的一幕发生在中微身上。

2007年，尹志堯領銜的中微剛推出自己的蝕刻機，就被老東家美國應用材料告上法庭。緊接著，另一巨頭泛林火上澆油。好在中微從一開始就小心規避專利陷阱，最終贏得了訴訟。 但結果卻不甚理想，中微不但賠上巨額的訴訟費，還賠上了下游客戶的信心。再加上適逢經濟危機，不得不暫時砍掉MOCVD業務。 

很不友好的環境 

事實上，中國很早就重視了半導體的大戰。最早可追溯至上世紀60年代。但在后來的发展中，由于自身路徑，國內產研環境，以及不友好的產業環境等多种原因，逐漸掉隊。 

中國半導體一直是在冒著敵人的炮火匍匐地前進。而今，敵人的炮火更是越來越凶猛，越來越密集。 西方一直有一個針對出口管制的制度安排，最早是1949年成立的巴黎統籌委員會，之后在1996年演變為瓦森納協定。該協定包含軍用、民用兩份控制清單，目的是限制向相关國家出口敏感產品和技術，中國就屬于被限制的對象。 過去几十年，國家一直在努力突破這种封鎖。

90年代，先后批复908/909工程，時任領導人表態：砸鍋賣鐵也要把半導體搞上去。國務院則用財政赤字撥款。 然而，作為兩項工程的產物，華晶、華虹等企業到國際上采購設備卻遭到抵制，最終发展受限，一直未有大的突破。 2006年以后，國家又搞了01和02專項。前者劍指核心電子器件、高端通用芯片和基礎軟件，俗稱核高基；后者劍指IC制造和成套工藝。 

近年來，兩個專項相繼開花結果，例如中微的蝕刻機已看齊世界水平，中芯國際的工藝已挺進到28納米，但受限于不友好的產業環境，水平還是差強人意。 以光刻機為例，ASML的EUV光刻機即將投入7納米工藝，而國內最先進的量產水平是90納米。之所以差距驚人，原因之一是買不到高水平的鏡頭和光源，這是光刻機的核心部件，而國內缺乏相关的技術。 

坊間一直傳說，瓦森納協定禁止向中國出口高端光刻機。這种說法后來遭到ASML公司的否認，該公司聲稱，最快將于2019年在中國晶圓厂見到EUV光刻機。 但業內人士透露，在瓦森納協定中，確實是有光刻機限售條款的，只不過每隔几年，條款就會作相應的調整。之所以調的原因也是，國產水平在不斷提高，所謂的調整，頂多也就是“敵人”不斷地根据我方的進展調整炮火的輕重與射程。 

一個有意思的細節是，國內研究機構在相关技術上取得突破不久，ASML公司就否認了禁售的傳聞。 產業環境并不是唯一的障礙，來自國家層面的干預更加要命。 美國政府曾多次否決中國企業針對美企的收購行為，包括著名的紫光并購美光計划。最近更是制裁了中興通訊，斷供其芯片。 2016年，國內某基金收購德國愛思強時，連FBI都跳出來施壓，最終迫使德方放棄了交易。

而据中興員工透露，在中興斷芯事件前，FBI就入駐了公司內部。   

為錢一把辛酸淚 

半導體是一個燒錢的行業。上世紀90年代，中央在財政非常拮据的情況下，特批了40億元搞半導體。但這點錢只是杯水車薪。 向民間要投資，更遭到冷遇。 這個行業不但燒錢，而且周期長，技術更新快，你剛研发出來，别人已經開始打價格戰。這意味著，前期要不斷砸錢，還見不到水花。對民營資本而言，這是無法承受之痛。 中微董事長尹志堯2004年滿腔熱血回國創業，就遇到了這個難題。 

為造蝕刻機，中微在短時間內，燒光了地方政府和自籌資金，只好四處籌錢續命。当時民間資本對這個行業缺乏了解，也缺乏意願，尹的一腔熱血只能碰一鼻子灰。 万般無奈之下，只好赴矽谷融資。兩周內，十几家風投踏破門檻，願意提供5,000万美元。此情此景，令報國心切的尹志堯百感交集：難道只有美國造得出蝕刻機？ 苦心積慮，只為國產化，絕不能大權旁落。在拿回几筆續命錢后，尹志堯繼續尋找國內投資人。后來，在江上舟的引薦下，終于有國開行為中微背書。 

跟中微有類似遭遇的，還有京東方。 做液晶面板20年，京東方一直伴隨各种非議。尤其是它越虧越投的做法，更是被人質疑為綁架政府，因為其大部分資金來自銀行和地方政府。 在資本市場上，由于不斷增发，京東方背上了圈錢的罵名。但這些錢，大部分來自國資背景。其間，京東方曾多次拉私募基金入股，均被拒絕，理由是投資大，短期難見利。 

幸運的是，苦熬多年后，京東方靚麗崛起，勇奪五個全球第一，讓当初的堅持者賺得盆滿缽滿。 近年來，國家加大了對半導體行業的投入。大基金一期投入1.300億，已收尾；二期預計超過2.000億。乍一看，錢不少，但需要投資的項目也很多，涵蓋芯片設計、制造、封測、設備等諸多領域。以一期為例，累計投資62個項目，涉及23家上市公司。 這樣平均下來，每家获得的投資額并不多，跟撒胡椒面一樣。 而純靠市場手段去募集資金的難度同樣非常大。以紫光為例，真正的大規模投資還沒開始，市場就已不乏圈錢的質疑聲，跟京東方当年惡戰面板產業時所遭遇的挑戰几乎沒有兩樣。 顯然，這樣的投資強度是不夠的。再看一組數据，就更能看出差距。 

全球芯片三巨頭，三星、英特爾、台積電，每年的投資都在百億美元級别，而中芯國際不到對方的十分之一。 設備三巨頭，應用材料、泛林、東京電子，每年在研发上投入5至10億美元不等，而中微半導體直到去年，收入才破10億，還是人民幣。 


人才的切膚之痛 

搞好半導體，主要靠三件事：一個是錢，一個是人，外加一個政策。錢的事好說，畢竟這些年國家不差錢；人的事很難搞，因為非一朝一夕之功。 數据顯示，我國未來需要70万半導體人才，目前只有不到30万，缺口40万。 我們尤其缺行業的領軍人物。這些年，01/02專項取得的重大突破，很多都是海歸創造的，他們長期任職于歐美半導體公司，擁有丰富的行業經驗。 

張汝京，德州儀器工作20年，在全球蓋過20座芯片工厂。回國后，創辦了中芯國際，以及國內第一家12寸矽晶圓厂，被譽為中國半導體之父。 尹志堯，闖蕩矽谷20年，先后任職于英特爾、泛林和應用材料。回國后，創辦中微半導體，几乎以一己之力，將國內介質蝕刻機帶到了世界水平。 

此外，曾任職于霍尼韋爾的姚力軍，回國后做出了高純度濺射靶材；美國留學歸來的王淑敏，研发出國內第一款研磨液，打破了國外壟斷。 日本、韓國和中國台灣地區，也是半導體人才的重要來源。大陸兩大代工厂，中芯國際和廈門聯芯，都有台灣背景，很多技術人員也來自台灣。 這几年，國內存儲器的跨越式发展，也離不開日本、韓國、中國台灣技術人員的貢獻。日本厂商爾必達破產后，大批日本人赴中國尋找機會，包括前社長阪本幸雄。 以紫光為例，外界看到其董事長趙偉國在資本和產業上動作頻頻，而事實上，他用心同樣多的也是找人。其總投資預計1,000億美元左右的長江儲存的執行董事長高啟全，便是他費尽心思從台灣爭搶過來的世界級半導體產業猛人。 

目前，長江存儲的3D NAND閃存已經获得第一筆訂單，總計10,776顆芯片，將用于8GB USD存儲卡產品。今年10月，我國首批擁有完全自主知識產權的32層三維NAND閃存芯片將在這里實現量產，這也是中國集成電路閃存芯片產業規模化发展“零”的突破。 然而，引進人才畢竟不是長久之計。國內半導體行業要想大发展，必须立足于培養本土人才。 一方面，外來人才和本土人才，在利益、觀念等方面是有冲突的。中芯國際在江上舟離世后，就陷入外來人員和本土人員的派系之爭，一度影響到公司的发展。 另一方面，半導體是微加工行業，工藝很关鍵。很多外國技術人員之所以牛，是他們一輩子只干一件事積累起來的。 

2002年，上海微電子總經理赴德國考察，有工程師告訴他：“給你們全套圖紙，也做不出來。”開始他不服，后來明白了。那里的拋光工人，祖孫三代干著同樣一件事，“同樣一個鏡片，不同工人去磨，光潔度相差十倍。” 這恰是中國半導體行業的一個切膚之痛。 我們不缺設計人員，但缺工藝工程師，而這類人才很難靠引進來滿足。 

中芯國際之所以在制程上落后2至3代，除了光刻機等設備受限外，工藝上的經驗欠缺才是更重要的原因。 遺憾的是，目前國內不少高校的人才培養，與現實脫節。大多數學生跑去做軟件，做應用，卻不願搞更基礎的計算機系統和底層結構。 

不容樂觀的生態鏈 

在自然界，動植物要生存，必须融入生物鏈。 做企業也一樣。只不過，在企業這個生態鏈中，先行者有成本優勢，再加上穩定可靠的供應鏈，使得他們能夠持續盈利，進而支撑著技術的不斷進步。 這對后來者而言，如同一道不可逾越的壁壘。 這些年，中國半導體產業面臨的一大難題，就是如何融入這個生態鏈。 


龍芯是一個很好的例子。這款中科院計算所自主研发的芯片，尽管性能不俗，但一直游離在民用市場外。原因很簡單，市場上有更成熟、性價比更高的處理器。 龍芯的遭遇并非個案。大部分芯片制造厂，在采購裝備時，一定考慮的是進口設備，因為國產設備剛起步，質量不穩定、一致性差。 当年，LED芯片剛在國內興起時，各大芯片厂均只認美、德設備，而地方政府的補貼也只給進口設備。 

內憂外患，將國內MOCVD設備商逼到了絕境，“客戶不太願意用……因為不信任，需要重新驗證，這又要花錢。”中晟光電負責人陳愛華說。 直到后來，工信部為每台國產設備提供2,000万補貼，形勢才開始好轉。 新產品研制出來，沒有人用，就不可能盈利；沒有盈利，就沒錢搞研发。結果只能是惡性循環，胎死腹中。 這個時候，需要來自生態鏈的支持。

國內半導體行業近年來的進步，尤其是設備和材料領域，很大程度上得益于中芯國際、廈門聯芯等晶圓制造厂的帶動。 但這种機會，不是國外厂商所能提供的。那种一切交給市場的想法，不能說幼稚，至少也是罔顧事實的。 

几年前，韓國SK海力士曾采購過中微半導體的蝕刻機，后來放棄了。表面上是因為性能不及預期，實際是擔心泄露核心工藝的秘密。 一個有意思的細節是，尽管中國民用芯片九成依賴進口，但軍用芯片卻基本能自給自足，甚至還有出口。

比如，龍芯就穩定運行在北斗導航系統上。 另一款自主芯片，來自總參56所的申威，則撑起了我們的太湖之光超級計算機。 軍用很出彩，民用卻賣不出去？問題就在生態鏈上。 軍用市場是一個封閉的小圈子，產品追求穩定性和抗干擾，對性能并不敏感。龍芯和申威在這里能找到自己的位置。 

反觀民用市場，性能為王，技術迭代快，龍芯和申威很難融入這樣的生態鏈。 

結束語 

通過以上梳理，我們看到，國內造不好高端芯片，有外部因素，也有自身原因。 形勢看似悲觀，前景卻很光明。 

一方面，半導體行業向中國轉移的大趨勢不會改變。另一方面，摩爾定律在工藝上逐漸趨近極限，客觀上給了國內企業追趕的機會，而國家也正進一步加大支持和投入。 最近，我國國家領導人在武漢考察時，就特别到長江存儲作了考察與指示。受此鼓舞的趙偉國則表示，公司將尽快在全球集成電路產業占据重要地位，用5到10年時間成為全球三維閃存主要供應商之一。 在國家的支持和企業的自身努力下，國內半導體產業鏈正在出現由點到面的突破，而在三大历史性機遇的支持下，我們也必须迎頭趕上。 否則，后面的仗將會越來越難打，因為半導體產業不光是現代高科技產業的基礎，更是支撑和保障國家安全的戰略性、基礎性和先導性產業，而且重要性會越來越大 

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一字之差,中文妙不可言！

腦袋測得出的東西叫智商，腦袋測不出的東西叫智慧；
胸口摸得著的尺寸叫胸圍，胸口摸不到的尺寸叫胸襟；
眼睛看得到的地方叫視線，眼睛看不到的地方叫視野；
眉毛皺得出的形狀叫情緒，眉毛皺不出的形狀叫情感；

耳朵聽得到的動靜是聲音，耳朵聽不到的動靜是聲譽；
嘴裏說得出來的話叫內容，嘴裏說不出來的話叫內涵；
臉上看得出的表情叫氣色，臉上看不出的表情叫氣魄；
腳下走得到的距離叫夢想，腳下走不到的距離叫幻想；

背後摸得到的硬度叫脊椎，背後摸不到的硬度叫脊樑；
手比劃出來的動作叫手勢，手比劃不出的動作叫手段；
喉嚨吞得掉的東西是口水，喉嚨吞不掉的東西是口碑；
心裏測得出的律動是心跳，心裏測不出的律動是心緒；

證件上印出來的叫做文憑，證件上印不出來的叫文化；
看得見的自大表情叫傲氣，看不見的自尊底線叫傲骨；
溫度計量得出來的叫溫度，溫度計量不出來的叫溫暖；
還能嚐得到的味道叫回味，已經嚐不到的味道叫回憶。

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【美東南隨筆】中國人「不成熟」的11個表現

近年來，中國人似乎容易激動，陷入集體迷狂。這讓人懷疑中國人是否太不成熟了，具體的不成熟的表現，包括如下方面：

1、盲目炒股
根據中國家庭金融調查（CHFS）統計結果，2015年2季度，中國有8.8%的家庭參與了股市，持股家庭約為3700萬戶。3700萬戶家庭炒股，涉及上億股民，在股市大漲時，每天資金成交量上萬億元，A股成了迄今全世界參與人數最多、成交資金數額最大的投資場所，讓全球為之震顫和刮目相看。
在歐洲股市中，散戶直接參與市場交易非常少見；在美國股市中，散戶比例比A股小得多。歐美的個人投資者大都將資金交給共同基金、信託基金等投資機構與券商打理，通過他們進入股市。這樣的好處是，相對散戶來說，機構投資者理念更加成熟，不會輕易因市場上的風吹草動而出現大面積拋售現象。

然而，從中國家庭和人數總體看，炒股家庭和人口占比都接近10%。如果中國股市不能正常健康發展，其中不規範行為得不到根本遏制，那麼一旦股市出現波瀾，直接造成的影響就會不僅僅局限於資本市場，而會輻射至整個經濟體與社會運行。

參與炒股家庭越多，股市下跌導致的虧損家庭也會越多，恐慌情緒也會迅速蔓延。這對股市止跌企穩會帶來很多不安定因素。

參與家庭越多，越容易造成參與者素質參差不齊，一些根本缺乏股市常識的家庭和股民加入炒股大軍，更容易誘發股民「追漲殺跌」盲目投資情緒，從而推動股市非理性上漲，加劇股市泡沫化。

港交所總裁李小加此前也「批評」中國股市是「廣場市」，就是滿是大媽的廣場一樣的股市。音樂一起，一堆大媽歡天喜地扭起來；音樂結束，大媽該回家了，一堆人全散了。在李小加看來，中國的股市就是這樣，具有一擁而上、一擁而散的特點，充滿散戶之間的博弈。

在前一波A股牛市中，有多少家庭和股民在盲目無知推動下加入炒股隊伍，肯定不是一個小數字。尤其一些資金實力不雄厚的家庭和股民通過配資高槓桿進入股市，一旦遭遇股市震盪下行就會造成滿盤皆輸。對於成熟的資本市場來說，不成熟散戶的參與並不是越多越好，尤其抗風險能力弱、缺乏股市正確投資理念的家庭和股民。

如果只一味追求資本市場發展規模和號召廣大民眾入市、而不重視參與者質量，那後果將是很危險的。這一輪股市震盪就給不成熟的散戶上了一堂生動的警示教育課。

A股市場想要長久繁榮和可持續發展，必須從現在起就努力扭轉「散戶市」的局面，對於監管部門來說，有必要設立一定的A股市場准入條件，對參與炒股家庭和股民設立家庭收入狀況、資金來源、抗風險能力等量化准入指標，對達不到量化指標而要求進入A股市場的家庭和股民進行風險提示，防止其盲目入市。

2、追捧「日本製造」
2014年中國赴日旅遊總人數達到約220萬人，同比激增82%左右。在這股赴日旅遊熱中，中國遊客熱衷於購買日本各類日常用品的現象引起熱議。從鉛筆、削皮刀、眼罩等小物品，到電飯煲、旅行箱等大件，中國遊客的採購清單正在不斷擴容。他們的身影，也成了日本商場的一道獨特景觀。

今年年初，財經作家吳曉波發表了一篇名為《去日本買隻馬桶蓋》的文章，描述了中國人在日本搶購電動馬桶蓋的情形。這篇帖子在網絡上瘋傳，中國遊客去日本搶購馬桶蓋的現象也在全國產生熱議。
中國人蜂擁日本購買的馬桶蓋一點也不便宜，售價在2000元人民幣左右，它有抗菌、可沖洗和座圈瞬間加熱等功能，最大的「痛點」是，它適合在所有款式的馬桶上安裝使用，免稅店的日本營業員用難掩喜悅的神情和拗口的漢語說，「只要有中國遊客團來，每天都會買斷貨。」

最近又有不少中國遊客盯上了日本生產的「神藥」。在網絡上搜索，可以看到不少有關「去日本不能錯過的居家神藥」、「去日本必買的神藥」的帖子。其實，所謂「神藥」並不神秘，無非是日本常見的非處方常備藥品，只是在網友口口相傳中成為了「神藥」。

日本各大城市，尤其是東京藥妝店遍地都是。現在任意走進一家藥妝店，看到大部份顧客都是中國遊客。最近因為中國遊客瘋狂掃貨，不少藥妝店不得不對部份緊俏商品進行限購。

3、不惜代價就讀美國大學
根據美國國際教育協會數據顯示，2013~14學年，共有886052名外國留學生在美國高校學習，比同期增長了8.1%。其中，來自中國大陸的留學生人數最多，占美國大學國際學生人數的31%。

自美國高校8年前開始在中國大規模招生以來，利用中介或諮詢機構申請大學就已成為一種慣例。從事自由職業的教育顧問於慧明(音)表示，在許多情況下，他們為中國學生及其家長提供急需的幫助和建議，後者對美國大學招生事宜的複雜性所知甚少。

總部位於美國的國際教育協會表示，中介機構正越發令人擔心：它們所做的已遠超「幫忙」範疇。母語為英語但生活在北京的馬克(化名)是一名黑市「槍手」。他已幫助幾十名中國學生就讀美國大學。他說他每寫一篇「千字」作文，就能得到100美元的報酬，他總共寫了40多篇。

一些通過可疑中介獲得美國高校門票的中國學生，一旦踏入校園後就會步履維艱。美國厚仁教育首席發展官陳航表示，自2013年，美國高校已開除約8000名中國學生，但與在美國留學的27萬名中國學生相比仍微不足道。

4、富人移民
《2014胡潤中國投資移民白皮書》指出，美國和加拿大是中國高淨值人群最想去的國家。而他們海外投資的最主要原因是資產配置、分散風險和子女教育。在任何國家，最富有的公民肯定也是流動性最強的公民，因此中國富人們的「出逃」其實沒甚麼好驚奇的。

全球性房地產諮詢公司萊坊和針對富裕人士的專業移民律師事務所費戈曼的一份研究報告顯示，離開中國的百萬富翁數量是最多的——2003年到2013年間由76200中國富翁移民，這相當於中國百萬富翁總數的15%。

財富研究機構Wealth-X和瑞士UBS聯合銀行發佈的「全球億萬富翁普查」調查顯示，2014年全球新增億萬富翁155名，總數達到創記錄的2325名，同比增加7%，其中美國是億萬富翁增加最多（57人）的國家，中國增加33人位列第二，而整個亞洲新增億萬富翁52名，同比增長18.7%，是全球增幅最多的大洲。

評論人士譚浩俊稱，雖然中國名義上已經成為世界第二大經濟體，但是，人均水平在世界上仍處於比較落後的位置。中國人並沒有數據反映的那麼富裕，中國的財富，也沒有到了可以隨便向其他國家轉移的地步。如果允許財富以這樣的方式、這樣的速度轉移，那麼，中國人真的沒有必要不要再勞動了，也沒有必要再繼續創造財富了。

事實也是如此，當八成以上的中國人還在為買房而苦惱，並一個個成為「房奴」的情況下，那些被稱作富翁的人，卻以近1500萬元的代價，紛紛向國外轉移資產；當絕大多數中國人還在為了溫飽、為了小康而努力的時候，那些已經成為富翁的人，卻想著做其他國家的公民了。有評論稱，今天的美國富人在逃離美國，與此同時，中國富人卻飛蛾撲火般地湧人。不知在「羊入虎口」自取財富」消亡的道路上還要迷失多久？

5、炫富
新中國成立以來，首次出現一群坐擁巨額私人財富的年輕人。世界上沒有任何一個地方像中國一樣，如此迅速地湧現出一大批富翁，大部份年齡在五六十歲。他們子女的奢華生活如今已成為中國激烈討論的話題。

不僅在北上廣等大城市，在許多像保定這樣的城市也有許多年輕人對手裡大把的錢怎麼花不知所措。他們大部份人不工作，喜歡時不時幹點過分的事吸引眼球，比如夜晚在城市街道上飆車。

中國作家余華說：「一個西方人活四百年才能經歷這樣兩個天壤之別的時代，一個中國人只需四十年就經歷了。」中國成為物質上的巨人，直接甩人民幣買大力丸，成為最自然的舉動。

穿金戴銀是炫富的基本手段，金條、金鏈、金戒、金錶是標配，黃金跑車、馬桶、浴缸、沙發、茶几、麻將、內衣、領帶、名片、年曆、鋼琴、高跟鞋、上衣、面膜、粽子是升級版配置。

為了迎合中國式的品位，甚至連蘋果都不得不低下高貴的頭顱，甩出一款「土豪金」，還順勢一股腦端出高端黑、東北銀、茶婊綠、古德白、武籐藍和腦殘粉。上海的小白領節衣縮食都要擁有一個LV包包，隨時隨地溫習裝腔指南，為的只是扮上流社會，證明自己真土豪。

但是，僅剩權貴、屌絲與土豪共存的社會並不是一個可持續的好社會，一個好社會應該是平等型、流動型、進取型的社會，它應該時刻昭示希望、注重精神的養成，應該有著恆定的精神內核與價值觀。

6、落後而不自知
過去的百年，中國一直仰視西方；但一夜暴富之後，中國開始俯視西方。過去的謙卑和自卑，今天的自信與自負，是那麼迅速而自然地在中國人的身上交替呈現。

只是，當中國的經濟總量已超過大多數西方國家，因而一不小心由自信走向自負乃至傲慢的時候，其實中國的國內轉型僅處於西方國家百年前的水平，而中國卻並不自知，甚至依然自大。

儘管中國在幾十年的瘋狂增長之後成為世界第二大經濟體，但中國仍有8200多萬人口生活在貧困線之下，每天生活費不足1美元。中國2013年的人均GDP只有6767美元，相當於美國的13%。

綜合義務教育法的頒布、基本義務教育的普及、大學教育水平和普及狀況、學術獨立程度、教育的投入和產出等，有人認為中國的國民教育落後世界150到200年左右。尤其在對社會福利和社會保障作出比較之後，有人認為中國要落後美國200年以上，而落後歐洲更多。

美國明尼阿波利斯聯邦儲備銀行的一項研究顯示，即便到2061年，美國的人均收入仍然要比中國高出一倍以上。

7、圍觀
魯迅曾經痛心疾首的批判過中國人的圍觀，麻木不仁的圍觀。
2015年7月10日傍晚，安徽淮北段園鎮毛莊村的大路上，一名二十多歲青年駕駛摩托車與一輛白色小轎車發生碰撞後摔在路上奄奄一息，幾十名路人圍觀卻無人撥打120。十餘分鐘後倒地青年艱難地從口袋裡掏出手機，用微弱的聲音撥打120自救。

令人震撼的是那麼多的現場圍觀者，卻沒有一人伸出援手拔打醫院電話。「十餘分鐘」對於挽救一個人的生命來說，常常是極其寶貴的黃金時間！若傷者不能「自救」，那後果無異於在眾目睽睽之下等死？

雖然在層出不窮的扶人被論事件後，「扶」與「不扶」已成為一道自保與良知中的取捨題，但是這名青年因車禍倒地後，路人僅僅需要的是拔打一個醫院救護電話而已，這救命的電話「打」與「不打」，卻不該是一個艱難的選擇題。

或許，圍觀者考慮的是，怕這名青年醒來後「不認帳」，自己反受醫院指責；或許，圍觀者都在等待其他人拔打電話，唯獨沒想到自己應該如此；或許，正是網友所說「不是你撞的為甚麼要打電話」的思想佔了上風……

但不管怎麼說，這都是一種事不關己的自保思想在作祟。而因為這種思考，將他人安危完全置之不理，是否過度了呢？「自保」與「冷漠」常常只有一紙之隔，中國人又怎能在關鍵時刻讓過度的「自保」成全了「冷漠」？

8、賺錢昧良心做人無底線
瘦肉精、地溝油、毒牛奶、麵粉增筋劑、白酒塑化劑……近年，層出不窮的食品業新名詞拷問著中國人舌尖上的安全。

2014年至今，食品安全事件仍舊頻見報端，其中，尤以上海福喜過期變質肉事件、台灣頂新「黑心油」事件、恆天然毒奶粉事件等影響最甚。令人咋舌的是，與以往私人窩點、黑心作坊等的違規作業不同，著名洋快餐、國際知名食品企業紛紛登上黑榜，使得公眾對食品產業的信任危機空前增加。
最近，「殭屍肉」又熱起來了。還有「殭屍鳳爪」、「殭屍雞翅」、「殭屍豬蹄」等派生系列新詞也像電影裡一個接一個的殭屍紛紛跳出棺材，真叫人讀之而渾身汗毛直豎、雞皮疙瘩直冒。

中國外交部的發言人傅瑩此前也表示，中國人有句話說，民以食為天,所以食品安全是一個天大的事，現在這個問題確實是很牽動人心。總有人那麼昧著良心賺黑錢，有時甚至令人髮指。

9、目標一致卻內鬥互毆
最近三十年，中國的改革開放發展很快，中國一躍而為全球第二大經濟體，但改革到了一定階段就無法繼續推進，阻力重重；面對阻力，我們的許多精英再次展開左右方向之爭，抓住的是表面的情緒，繞過的是問題的核心，經常為同一個目標、不同的切入方式而打得你死我活。

中國面臨的環境已經不是沒有威脅的外部環境。相反，由於全球化的必然性，中國的生存必然與其他國家相關。中國必然與其他國家發生各種各樣的矛盾和衝突。中國就好比幾十家公司裡的一家，必須與其他國家競爭，而競爭力從甚麼地方來？就來自於團結，我們必須處理好「統一」與「自由」的關係，把握住分寸。

10、經濟崛起思想朦昧
歷史上凡是崛起而又穩健的民族，必然經過一個重要的階段，那就是思想啟蒙，亦即通過大規模的公共討論，對全民的集體精神展開一場洗滌。

經過一番啟蒙，大多數人的心靈深處將呈現很大不同，保守將變得開明，激進將變得理性，魯莽將變得穩健，進取而不具威脅，雄心勃勃而不再咄咄逼人。中國從來就沒有經歷過思想啟蒙，但恰恰就在這樣的基礎上崛起了。

11、習慣「大批判」
即便有所謂的反思或討論，我們更多習慣於「大批判」式的風格：無論甚麼事，我們都習慣於將責任推給某一個個人或集團，大家群起攻之，口誅筆伐，於是個體的責任解脫了，世界照舊，中國的艱難循環依然。

殊不知，中國的問題雖多，但最大的問題還在於我們每個個體的素質。只是我們經常沒有認識到這一點。這樣的民族成熟嗎？

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【美東南隨筆】理解真實的「麥卡錫主義」

常常有人將美國的「麥卡錫主義」與中國的文革相比較，比如，稱之為「白色文革」。麥卡錫主義到底是甚麼？其主導者麥卡錫，是否真的誣陷了無數好人，美國民眾是否也陷入到「歇斯底里」、「集體迫害」？答案或許出乎你的預料。

再也沒有一個美國人身負約瑟夫．麥卡錫那樣多的譴責與爭議了，以他冠名的麥卡錫主義是政治壓迫和白色恐怖的代名詞，以至於大洋彼岸的專家教授在抗議本國政府對知識份子施加的審查壓力時，都要強調「警惕麥卡錫主義」。

美國強大的媒體，對麥卡錫主義大加鞭撻，甚至將其與中國的文革相提並論。以至於今天人們一提起「麥卡錫」，都掩鼻避讓，雖然可能並不知道發生過甚麼。麥卡錫是誰？為甚麼他能在民主國家發起「白色恐怖」？他的指控都正確嗎？

*最有權力的美國人
1950年，參議員麥卡錫提出，他掌握了美國政府等幾百人的「共產黨員名單」，輿論大嘩。此後，他不斷提出證據不足的指控，質疑數百人的忠誠度，直到50年代末，大眾的熱情冷卻，加上他爆出了個人醜聞，逐漸失勢，此後聲名狼藉，「麥卡錫主義」也成了美國人反覆踐踏的名詞。

不過，和其他「白色恐怖」的發起者們相比，麥卡錫的職位遠不如他們顯赫。從他崛起到失勢，他都只是威斯康星州的聯邦參議員，是一百人參議院中的一個。這遠遠不同於其他國家的「領袖」、「元首」。

為甚麼在素稱民主的美國，一名參議員卻可以擁有「最大的權力」？要解釋這個問題，需要介紹一項屬於立法機構的憲法權力：國會調查權。國會調查權，一般指國會為了立法或監督政府的目的，通過檢查有關記錄、傳喚證人、召開聽證會等手段來查明真相的權力。說是憲法權力，其實它並未在美國憲法文本中得到明確規定，而是被視為承襲自英國議會和北美殖民地議會的歷史傳統，是國會立法權的附帶權力。

自1792年國會調查權被首次使用後，從寬解釋其範圍的觀念就佔了上風。1857年，一項立法規定凡被兩院傳喚作證卻拒絕回答者，可因藐視國會的罪名被起訴，最高將處以高達1千美元的罰金或長達1年的監禁，首次以法律文本確立了國會調查權。

儘管不是司法調查，國會調查受到的限制卻可能比司法調查更少：根據美國憲法第五修正案規定，證人「不得在任何刑事案件中被迫自證其罪」，引用這項權利來拒絕回答司法機關的問題是合宜的；然而，引用這項權利來拒絕回答立法機構的問題則可能招致諸多不良後果。

例如，紐約市憲章第903條就規定，若城市僱員引用第五修正案，來拒絕回答立法委員會關於其公務行為的問題，就會失去他的工作。不少私人機構也會謝絕僱傭那些忠誠度存疑的人。麥卡錫主義最為知名的一群受質疑者，就是被列入「好萊塢黑名單」的那些娛樂業從業者，這個黑名單並非政府主導，而是以沃特．迪士尼為代表的好萊塢高管與保守派輿論配合形成的。

麥卡錫依賴的就是這麼一條規定。1946年一項法案將傳喚證人的權力授予參議院所有常設委員會，幫他搭好了舞台——他主持的「政治壓迫」基本都在參議院公開進行。

*會議上的麥卡錫
要用威懾力有限的調查權撬開證人的嘴，麥卡錫必須盡情揮灑死纏爛打的氣質，他為每個傳喚到聽證會的證人，都準備了「你是不是共產黨員？」「你以前是不是共產黨員？」、「你有沒有加入過共青團？」、「你有沒有參加過共產主義運動？」、「你是否同情共產主義運動？」這樣一系列連珠炮式的問題，連當事人的性取向也可能拿來質詢。

為了獲取信息，麥卡錫也常拿監禁來威脅那些不配合的證人，他還時常把證人及嫌疑人的名字公開，令他們聲名掃地。他的「白色恐怖」手段大概也就只有這些，據敵視麥卡錫的歷史學家Ellen Schrecker統計，在「麥卡錫主義」盛行期間，有數百人遭到囚禁，10000-12000人丟掉工作。

*美式文革的終結
然而，Schrecker沒有提起的是，因為恐懼東窗事發，很多正牌蘇聯間諜逃回東歐，剛好撞上政治清洗，有的被處決，有的舉家被關進古拉格，待遇實在比在美國被捕差太多。諷刺的是，受到這樣折磨的間諜，通常都對共產主義忠心不改，哪怕他們沒能等到平反，最終死在獄中，也沒有留下過任何一句後悔之語。

除了地位偏低，麥卡錫和一般的「領袖」、「元首」還有很多不同：一不掌控軍隊，二不掌控警察，同時，媒體還始終沒停息過對他的質疑。他公開嫌疑人姓名的威脅之所以能奏效，全賴民眾的狂熱支持。

當時，對大多數美國公眾而言，「紅色恐怖」是真實存在的，麥卡錫放肆運用調查權時並未讓他們覺得有多少問題。1953年，麥卡錫登峰造極，啟動了600多次調查，而在1954年1月，他的支持度也達到了巔峰，蓋洛普調查顯示50%的受訪者對他持正面看法，只有29%的人反對他；在「最受尊敬的人」裡，麥卡錫排名第四。

*「麥卡錫應得到嘉獎，而不是指責」
然而，民意象一陣風，來得快去得也快。1954年4月，一場軍隊指控麥卡錫以不正當手段幫人走後門的聽證會被電視實況轉播，雖沒能查到麥卡錫本人違法違規，卻暴露了他肆無忌憚、張口胡說的一面。當月麥卡錫的民意跌到了38%，之後徘徊在35%附近；而反對他的民意驟漲至46%，此後一直維持在45%以上的水平。參院內部也興起了聲討麥卡錫的聲勢，他們在12月2日以67：22票通過了譴責麥卡錫行為的決議。

接下來，司法部門從程序上終結了麥卡錫同路人的權力。首先是在1956年，紐約市憲章第903條的規定被判違憲，一個人不能再因為拒絕在國會作證就遭到解僱的處分。接著在1957年，國會的無限調查權被最高法院終止，國會再也沒有權力為了揭發而去揭發，為了調查而去調查——「憲法並未賦予國會揭露個人隱私的權力」。

具體到案情本身，是當事人可以拒絕告訴國會他認識的人中有誰「曾經是共產黨員（但現在已經不是）」。同樣是在1957年，最高法院的另一判決認定，口頭宣言要推翻美國政府並不違法，只有同時伴有積極顛覆行動者才能被問罪。

記者I.F.斯通評價這個判決說：「這一天將被載入史冊，因為最高法院讓政治迫害的日子一去而不復返了。」諷刺的是，斯通曾長期保持與蘇聯克格勃的秘密聯絡，直到布拉格之春被鎮壓，他才斷絕這種關係，並繼續批判美國政府。

*需要為麥卡錫平反?
麥卡錫到底做的對嗎？他是否真的掌握了蘇聯滲透的情報？美國當時面對的「紅色恐怖」到底有多嚴重？這在整個50年代都是無法參透的迷霧。幸好，一份無心插柳的情報計劃，為後世揭開了答案。這就是維諾那計劃。

1943年，美國戰爭事務部軍事情報部門特種分部的負責人卡特．克拉克上校出於對斯大林的不信任，下令組織一小隊人馬專門研究蘇聯的加密外交電報，它本來是為了洞悉蘇德之間是否存在秘密的和平談判，以防止納粹德國同蘇聯達成協議後將全部火力集中對付英美。

破譯工作的第一份成果誕生時已是1946年，二戰早已結束。被破譯的電文對初衷並無幫助，電報顯示，斯大林沒有單方面講和的傾向。然而，它們揭露的內容令美國人大吃一驚——所有電報無一涉及外交事務，全都是不折不扣的間諜情報。第一批破譯電文裡，有一封1944年自紐約發出，稱蘇聯間諜已成功滲透到美國最絕密的原子彈項目中。

隨著維諾那計劃破譯成果的增加，蘇聯間諜滲透的嚴重程度也逐漸浮出水面：不僅有大批原子彈開發資料被拱手送給蘇聯，幫助他們在1949年就成功爆破原子彈；從槍炮炸彈到噴氣式飛機林林總總的常規武器資料也被交給了蘇聯人。

朝鮮戰爭初期，蘇聯製造的米格-15戰鬥機不僅大大強於美國的螺旋槳式戰鬥機，其性能甚至超出美國研製的第一代噴氣式戰鬥機，直到美國手忙腳亂地研製出Sabre F86戰鬥機，才得以在技術上同米格抗衡。

蘇聯對美國政府的滲透力度同樣驚人。在美國的多個機要部門——白宮、國務院、財政部、中情局的前身戰略情報局裡都有部份中高層官員實際是蘇聯間諜，後來他們還發現連維諾那計劃的參與者中都有一個蘇聯間諜。

身居高位的間諜，有羅斯福總統的親信及私人助理洛赫林．柯里，財政部第二號實權人物哈里．懷特，戰略情報局負責人的高級助理鄧肯．李，國務卿特別政治事務助理阿爾傑．希斯，國務院「美洲共和國部」負責人勞倫斯．達根。

其中不少還處於仕途上升階段，假如羅斯福總統於1944年去世，由時任副總統亨利．華萊士接替的話，哈里．懷特就會變成財政部長，勞倫斯．達根則很可能就任國務卿——等於讓蘇聯人接手美國最高級別的辦公室。必須要強調的是，維諾那計劃揭露的蘇聯諜情只是冰山一角，破譯電文僅佔總量的3%。

然而，這些檔案在當年並不為民眾知曉，人們根本無法以此評價麥卡錫的作為。
90年代冷戰結束後，維諾那計劃的檔案和蘇聯部份檔案解密，人們這才確知，蘇聯人真的曾把美國滲透得千瘡百孔。如何評價麥卡錫再次成為一番爭議的熱點，德克薩斯州更是想把維諾那檔案揭露的情況寫進教材，為麥卡錫平反。

不過，《維諾那計劃：前蘇聯間諜揭秘》的作者John Earl Haynes將麥卡錫羅列的蘇聯間諜名單與被解密檔案證實為間諜的名單做過對比，發現麥卡錫指稱的159名「間諜嫌疑人」中，只有9名是真正的蘇聯間諜，涉入過間諜活動的也只有10人。

他承認麥卡錫名單上的許多人存在意識形態上的安全隱患，其中一些曾經是美國共產黨或共青團成員，更多的曾經加入過與美共聯盟的組織，同時他也指出，這個名單上還有一個「醒目的少數」並無安全隱患，如國務卿艾奇遜、馬歇爾將軍。

Haynes更進一步，指出了一個非常關鍵的事實：蘇聯間諜之所以一度在美國橫行無忌，完全是因為美國官方對他們不加防範。如戰略情報局負責人多諾萬僅是貪圖他們的語言長處和歐洲經驗，就大量招募從西班牙返回的共產黨員。

*被高估的麥卡錫
不過，這並不能證明麥卡錫的所作所為就有必要性。無論反對麥卡錫的人，還是支持他的人，絕大多數都高估了麥卡錫的作用和影響。麥卡錫出盡風頭之時，美國官方早已開始檢討安全漏洞，某些功績並非出自麥卡錫，同樣的，某些迫害也並非來自麥卡錫。

在福克斯新聞的一個節目上，Ann Coulter要主持人Bill O』Reilly舉出一個被麥卡錫折磨的無辜人，O’Reilly提出了Dalton Trumbo，這人是「好萊塢十君子」之一，1947年他們拒絕回答國會調查的問題，成了好萊塢黑名單上最早的受害者——而麥卡錫掀起他的反共運動，已經是1950年了。

與之類似的還有羅森堡夫婦，他們被認定是將美國核機密傳給蘇聯的罪魁禍首而被美國處決死刑，聯邦調查人員早在1950年1月就盯上了他們，很難說與麥卡錫有甚麼相關；至於將他們問以死罪倒是在麥卡錫聲名鵲起之後，然而，更多跡象卻顯示，美國政府只是想以死威脅，逼他們供出更多間諜來減刑，不想這二位竟慷慨就刑，為其政治理想做了犧牲。

從1946年起，民主黨、民權組織、勞工組織紛紛開始內部清洗；1947年，杜魯門政府啟動了聯邦僱員的忠誠檢查程序，這一法令在艾森豪威爾任內得到進一步加強；FBI也對美國共產黨的活動開始全面緊逼，1948年，美國政府依據史密斯法案以煽動罪起訴尤金．丹尼斯及其他美共領導人。這一系列行動收效很快，到1950年，共產黨在他們一度深扎根基的那些機構裡都只剩下些許殘餘勢力——這一切當然與麥卡錫無關，而應當歸功於美國左翼群體裡那些「清黨領袖」們。

麥卡錫雖然沒有掃除到多少蘇聯間諜或美共領袖，卻對美國對外政策造成了深遠的影響——比如中國內戰。國民黨的迅速敗亡，是麥卡錫主義興起的重要契機。從拉鐵摩爾、謝偉思到馬歇爾，這些人之所以被麥卡錫盯住，也都與他們在國共內戰中的作為關係頗深。

麥卡錫和他的一班同僚認定，美國政府在中國內戰中嚴重拖了國民政府後腿，應是蘇聯間諜上下活動的結果。反感麥卡錫的人如Haynes，壓根就不相信美國的作為有如此重大的影響，他認定國民政府潰敗的主要原因只是由於國民黨腐敗無能。

不過，他若瞭解美國的停戰要求和武器禁運發生的時刻多麼關鍵，瞭解蔣介石如何高估美國支持而改變「先安關內，再圖關外」的既定策略，恐怕他也不會再認為麥卡錫是完全的無理取鬧。

麥卡錫主義興起之前，美國外交決策高度依賴一群天真的「國際專家」。以被他冤枉的「中國通」拉鐵摩爾為例，此人是蔣介石的美國顧問，在1938-1950年負責美國政府與中華民國政府間的聯絡工作。

1937年，拉氏訪問過延安，在其回憶錄中，他如此敘述對毛澤東的印象：「一位屬於人民的人——一個智力超群但顯然具有農民血統的人。」回憶延安之行一節的最後部份，他更借同伴之口說出了這樣一番話：「我遇見過很多國民黨知識份子。我也曾跟軍閥有來往。幾乎沒有甚麼樣的中國人我沒有打過交道。但是在延安，我第一次看到一位能夠領導中國的人（即毛澤東）。」

沒有任何可靠證據顯示拉鐵摩爾是在受蘇聯指令行動，但他的言行明顯對中共大為有利，麥卡錫因而指控他為頭號蘇聯間諜，他的調查雖然不了了之，卻破壞了拉鐵摩爾的口碑和信譽，此後，拉氏專心學術，再也沒有涉足政治相關的工作。

當然，美國外交方針的轉變也未必與麥卡錫直接相關，很可能僅僅是美國官方為自己的角色轉變而主動作出的調整。在50年代，大量同情共產主義的知識份子都淡出了美國的核心部門，並不因麥卡錫主義受挫而扭轉。

其中，最有名的例子要數二戰時曾主持原子彈開發的英雄奧本海默。經過一次持續四星期的國會聽證，1954年6月，美國政府解除了他作為原子武器顧問的職務。這番遭遇讓奧本海默也名列麥卡錫主義受害者名單，但事實上，此刻的麥卡錫已經在陸軍聽證會上遭到重創，變得不受參議院待見了。
奧本海默通不過安全調查的原因，主要在於他的妻子、弟弟和弟媳都是共產黨員，他自己也加入過共產主義組織「群眾陣線」，連蘇聯同納粹德國簽訂協議的消息都沒能改變他的初衷，可見其信仰之堅定。

1943年初，奧本海默接觸過蘇聯間諜，在當年8月向安全官員匯報此事時，他卻撒了謊，說是聽說的別人的事，經安全官員詢問方纔講出實情。解密的蘇聯檔案顯示，奧本海默確實拒絕了蘇聯間諜的合作邀請，沒有把原子彈開發的資料交給他們，他之所以想隱瞞，很可能是出於私交和共同的政治信仰，企圖庇護那些在曼哈頓工程中鬼鬼祟祟的朋友們。（原文摘自「大象公會」，標題為編者所加）

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